ATOS比例閥結構原理：
ATOS比例閥輸入信號增大，供氣用電磁閥先導閥1換向，而排氣用電磁先導閥7處于復位狀態(tài)，則供氣壓力從SUP口通過閥1進入先導室5，先導室壓力上升，氣壓力作用在膜片2的上方，則和膜片2相連的供氣閥芯4便開啟，排氣閥芯3關閉，產(chǎn)生輸出壓力。此輸出壓力通過壓力傳感器6反饋至控制回路8。在這里，與目標值進行快速比較修正，知道輸出壓力與輸入信號成一定比例為止，從而得到輸出壓力與輸入信號的變化成比例的變化。由于沒有噴嘴擋板機構，故閥對雜質不敏感，可靠性高。
ATOS比例閥特點：
1)可實現(xiàn)壓力、速度的無極調節(jié)，避免了常通的開關式氣閥換向時的沖擊現(xiàn)象。
2)能實現(xiàn)遠程控制和程序控制。
3)與斷續(xù)控制相比，系統(tǒng)簡化，元件大大減少。
4)與液壓比例閥相比，體積小、重量輕、結構簡單、成本較低，但響應速度比液壓系統(tǒng)慢得多，對負載變化也比較敏感。
5)使用功率小、發(fā)熱少、噪聲低。
6)不會發(fā)生火災，不污染環(huán)境。受溫度變化的影響小。
ATOS比例閥對流量的控制可以分為兩種：
一種是開關控制：要么全開、要么全關，流量要么大、要么小，沒有中間狀態(tài)，如普通的電磁直通閥、電磁換向閥、電液換向閥。
另一種是連續(xù)控制：閥口可以根據(jù)需要打開任意一個開度，由此控制通過流量的大小，這類閥有手動控制的，如節(jié)流閥，也有電控的，如比例閥、伺服閥。
所以使用比例閥或伺服閥的目的就是：以電控方式實現(xiàn)對流量的節(jié)流控制（當然經(jīng)過結構上的改動也可實現(xiàn)壓力控制等），既然是節(jié)流控制，就必然有能量損失，伺服閥和其它閥不同的是，它的能量損失更大一些，因為它需要一定的流量來維持前置級控制油路的工作。
產(chǎn)品優(yōu)缺 編輯本段
滑閥結構伺服閥的主閥一般來說和換向閥一樣是滑閥結構，只不過閥芯的換向不是靠電磁鐵來推動，而是靠前置級閥輸出的液壓力來推動，這一點和電液換向閥比較相似，只不過電液換向閥的前置級閥是電磁換向閥，而伺服閥的前置級閥是動態(tài)特性比較好的噴嘴擋板閥或射流管閥。
也就是說，伺服閥的主閥是靠前置級閥的輸出壓力來控制的，而前置級閥的壓力則來自于伺服閥的入口p，假如p口的壓力不足，前置級閥就不能輸出足夠的壓力來推動主閥芯動作。
而我們知道，當負載為零的時候，如果四通滑閥*打開，p口壓力=t口壓力+閥口壓力損失（忽略油路上的其它壓力損失），如果閥口壓力損失很小，t口壓力又為零，那么p口的壓力就不足以供給前置級閥來推動主閥芯，整個伺服閥就失效了。所以伺服閥的閥口做得偏小，即使在閥口全開的情況下，也要有一定的壓力損失，來維持前置級閥的正常工作。
伺服閥其實缺點極多：能耗浪費大、容易出故障、抗污染能力差、價格昂貴等等等等，好處只有一個：動態(tài)性能是所有液壓閥中高的。就憑著這一個優(yōu)點，在很多對動態(tài)特性要求高的場合不得不使用伺服閥，如飛機火箭的舵機控制、汽輪機調速等等。動態(tài)要求低一點的，基本上都是比例閥的天下了。
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英國海隆諾冠NORGREN
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